Ellipsometry in characterization of thin films

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Elipsometrie při charakterizaci tenkých vrstev
Autoři

OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel KLAPETEK Petr

Rok publikování 2005
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of the SREN 2005
Fakulta / Pracoviště MU

Fakulta informatiky

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SREN05_81.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Ellipsometry; Thin films
Popis V tomto článku jsou stručně presentovány principy elipsometrie spolu s popisem hlavních elipsometrických technik. Obecná klasifikace elipsometrických metod významných s praktického hlediska je provedena rovněž. Dále jsou uvedeny i principy optické charakterizace systémů tenkých vrstev. Tudíž hlavní kroky pro vytvoření strukturních modelů tenkovrstevných systémů jsou popsány spolu s klasifikací matematického formalismu použitelného pro pro odvození rovnic vhodných pro optickou charakterizaci zmíněných systémů. Tři důležité dispersní modely nám umožňující vyjádřit spektrální závislosti optických konstant amorfních dielektrických a polovodičových tenkých vrstev v rámci široké spektrální oblasti jsou také popsány, tj. Tauc-Lorentz model, Ferlauto et al model a model založený na parametrizaci hustoty elektronových stavů jsou diskutovány. Tři příkladyoptické charakterizace tenkých vrstev jsou ilustrovány, tj. výsledky optické charakterizace polymorfních křemíkových vrstev, As-S chalkogenidových vrstev a TiO2 vrstev dosažené pomocí elipsometrických metod kombinovaných se spektrofotometrickými metodami jsou presentovány a diskutovány. Možnost využití těchto metod pro charakterizaci vrstev používaných pro vytváření solárních článků jsou rovněž uvedeny.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.