Optical characterization of non-uniform thin films using imaging spectrophotometry

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Optická charakterizace neuniformních tenkých vrstev pomocí zobrazovací spektrofotometrie
Autoři

OHLÍDAL Miloslav ČUDEK Vladimír OHLÍDAL Ivan KLAPETEK Petr

Rok publikování 2005
Druh Článek ve sborníku
Konference Advances in Optical Thin Films II
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Optika, masery a lasery
Klíčová slova Non-uniforn Thin Films; Imaging Spectrophotometry; Epitaxial ZnSe Thin Films
Popis V článku je popsána metoda zobrazovací spektrofotometrie, která umožňuje charakterizovat neabsorbující tenké vrstvy neuniformní v optických parametrech. Tato metoda je založena na interpretaci spektrálních závislostí lokální absolutní odrazivosti naměřených při kolmém dopadu světla. Je ukázáno jak určit plošné rozdělení tloušťky a indexu lomu neabsorbujících neuniformních tenkých vrstev zpracováním těchto odrazivostí. Navíc zobecnění metody pro optickou charakterizaci slabě absorbujících neuniformních tenkých vrstev je také naznačena. Kromě toho je popsán dvoukanálový zobrazovací spektrofotometr dovolující aplikovat metodu zobrazovací reflektometrie. Metoda pro určení spektrálních závislostí lokální absolutní odrazivosti v bodech seřazených do matice umístěné na osvětlené ploše neuniformní vrstvy pomocí spektrofotometru je také presentována. Praktické výhody metody jsou specifikovány. Metoda je ilustrována pomocí optické charakterizace vybrané epitaxní tenké vrstvy ZnSe připravené použitím molekulové svazkové epitaxie na podložku tvořenou monokrystalem galium arsenidu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.