Mechanical properties of amorphous and nanocrystalline silicon thin films on flexible substrates

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Pedagogickou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Mechanické vlastnosti amorfních a nanokrystalických tenkých vrstev křemíku na flexibilních substrátech
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	NENAMAT International Conference Proceedings NANO05
Fakulta / Pracoviště MU	Pedagogická fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Mechanical properties; Amorphous silicon; Nanocrystalline Silicon
Popis	DSI technika je jedna z nejvhodnějších metod pro sledování mechanických vlastností tenkých vrstev. Byla použita pro studioum tenkých vrstev amorfního a nanokrystalického křemíku deponovaného na flexibilních substrátech.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek