Comparison of effective medium approximation and Rayleigh-Rice theory concerning ellipsometric characterization of rough surfaces

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Srovnání teorie efektivního prostředí a Rayleigho-Riceovy teorie týkající se elipsometrického studia drsných povrchů
Autoři

FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Optics Communications
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/OC248_459.html
Obor Optika, masery a lasery
Klíčová slova Roughness; Ellipsometry; EMA; RRT
Popis V tomto článku je presentována teoretická analýza správnosti aplikace aproximace efektivního prostředí (EMA) při elipsometrických studiích drsných povrchů. V rámci této analýzy Rayleigh-Riceova teorie (RRT) je použita pro výpočet simulovaných elipsometrických dat různě slabě náhodně drsných povrchů. Tato simulovaná data jsou zpracována pomocí metody nejmenších čtverců kvůli nalezení hodnot parametrů charakterizujících drsné povrchy z hlediska EMA, tj. nalezení hodnot tloušťky a faktoru uspořádání popisujících fiktivní (efektivní) tenkou vrstvy nahrazující tyto povrchy v rámci EMA. Je ukázáno, že EMA může být využita k interpretaci elipsometrických dat drsných povrchů správným způsobem, pokud jejich drsnost obsahuje pouze vysoké prostorové frekvence. Pro nízké prostorové frekvence je ukázáno, že vliv povrchové drsnosti je malý ve srovnání s odrazivostí. Navíc je ukázáno, že EMA musí být použita opatrně pro charakterizaci drsných povrchů a že je nemožné kvantitativně srovnávat hodnoty tlouštěk určené pomocí EMA v rámci elipsometrické analýzy s rms hodnotami výšek povrchových nepravidelností určenými pomocí AFM.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.