Optical properties of slightly rough LaNiO3 thin films studied by spectroscopic ellipsometry and reflectometry
| Název česky | Optické vlastnosti jemně drsných tenkých vrstev LaNiO3 studovaných spektroskopickou elipsometrií a reflektometrií |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Applied Surface Science |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/ASS244_431.html |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | Ellipsometry; Reflectometry; Optical constants; LNO; LaNiO3 |
| Popis | Optická charakterizace vrstev LaNiO3 (LNO) deponovaných sol-gel metodou na podložky Si pokryté Pt byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie a reflektometrie. Součet pěti Lorentzových oscilátorů byl užit pro dispersní parametrizaci LNO ve spektrálním oboru 190-1000 nm. Dva teoretic képřístupy: Rayleigh-Riceova teorie (RRT) a aproximace efektivního prostředí (EMA) byly uvažovány při započtení vlivu drsnosti rozhraní. RMS hodnoty výšek nepravidelností obdržené pomocí mikroskopie atomové síly (AFM) a RRT byly 2.09 a 5.62 nm. Tloušťka efektivní vrstvy v rámci přístupu EMA byla zjištěna v hodnotě 4.62 nm. Vyšší hodnoty drsnosti určené pomocí optické metody vzhledem k AFM mohou být vysvětleny efektem konvoluce hrotu AFM a nepravidelností rozhraní. |
| Související projekty: |