Optical properties of slightly rough LaNiO3 thin films studied by spectroscopic ellipsometry and reflectometry

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Optické vlastnosti jemně drsných tenkých vrstev LaNiO3 studovaných spektroskopickou elipsometrií a reflektometrií
Autoři

MISTRÍK Jan YAMAGUCHI Tomuo FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan HU Gu Jin DAI Ning

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Applied Surface Science
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/ASS244_431.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Ellipsometry; Reflectometry; Optical constants; LNO; LaNiO3
Popis Optická charakterizace vrstev LaNiO3 (LNO) deponovaných sol-gel metodou na podložky Si pokryté Pt byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie a reflektometrie. Součet pěti Lorentzových oscilátorů byl užit pro dispersní parametrizaci LNO ve spektrálním oboru 190-1000 nm. Dva teoretic képřístupy: Rayleigh-Riceova teorie (RRT) a aproximace efektivního prostředí (EMA) byly uvažovány při započtení vlivu drsnosti rozhraní. RMS hodnoty výšek nepravidelností obdržené pomocí mikroskopie atomové síly (AFM) a RRT byly 2.09 a 5.62 nm. Tloušťka efektivní vrstvy v rámci přístupu EMA byla zjištěna v hodnotě 4.62 nm. Vyšší hodnoty drsnosti určené pomocí optické metody vzhledem k AFM mohou být vysvětleny efektem konvoluce hrotu AFM a nepravidelností rozhraní.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.