Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Optická charakterizace tenkých vrstev PZT deponovaných sol-gel metodou pomocí spektroskopické elipsometrie a měření odrazivosti v blízké UV a viditelé oblasti
Autoři	FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan MISTÍK Jan YAMAGUCHI Tomuo HU Gu Jin DAI Ning
Rok publikování	2005
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Applied Surface Science
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/ASS244_338.html
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	PZT films; Optical constants; Ellipsometry; Reflectometry
Popis	V tomto článku jsou uvedeny výsledky týkající se optické charakterizace PZT vrstvy. Vícevzorková modifikace optické metody založené na kombinaci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie je použita pro obdržení spektrálních závislostí optických konstant této vrstvy v rámci spektrální oblasti 190-1000 nm. V blízké UV oblasti ostré tvary spektrálních závislostí optických konstant byly nalezeny. Tyto tvary jsou vysvětleny existencí úzkých pásů 4d a 3d valenčních elektronů přechodových kovů Zr a Ti. V rámci optické charakterizace PZT vrstvy jsou respektovány defekty sestávající se z drsnosti rozhraní a profilu indexu lomu.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek