Infrared Response of Heavily Doped p-type Si and SiGe Alloys from Ellipsometric Measurements

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Infračervená odezva silně legovaného p-typu Si a slitin SiGe z elipsometrických měření
Autoři	HUMLÍČEK Josef KŘÁPEK Vlastimil
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	CP772, Physics of Semiconductors: 27th International Conference on the Physics of Semiconductors
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	silico-germanium alloys; infrared ellipsometry
Popis	Elipsometrická spektra Si a slitin SiGe silně legovaných bórem. Ve střední infračervené oblasti lze v optické odezvě oddělit příspěvky plasmatu volných děr a přímých mezipásových přechodů. První z obou příspěvků dává správnou extrapolaci stejnosměrného odporu, druhý je v dobré shodě s osmipásovou k.p aproximací.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur