Spatial characterization of an IPVD reactor: neutral gas temperature and interpretation of optical spectroscopy measurements

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Prostorove rozlisena charakterizace IPVD reaktoru: teplota jako klicovy parametr pro interpretaci opticke emisni spektroskopie
Autoři	DE POUCQUES Ludovic IMBERT Jean-Christophe BOISSE-LAPORTE Caroline VAŠINA Petr BRETAGNE Jean TEULÉ-GAY Lionel TOUZEAU Michel
Rok publikování	2005
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Sources Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	physical vapor deposition; ionised physical vapor deposition; titanium; metal ionisation; density; magnetron
Popis	Studium IPVD reaktoru s Ti katodou. Teplota jako klicovy parametr pro interpretaci vysledku.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu