Spatial characterization of an IPVD reactor: neutral gas temperature and interpretation of optical spectroscopy measurements

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Prostorove rozlisena charakterizace IPVD reaktoru: teplota jako klicovy parametr pro interpretaci opticke emisni spektroskopie
Autoři

DE POUCQUES Ludovic IMBERT Jean-Christophe BOISSE-LAPORTE Caroline VAŠINA Petr BRETAGNE Jean TEULÉ-GAY Lionel TOUZEAU Michel

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Plasma Sources Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova physical vapor deposition; ionised physical vapor deposition; titanium; metal ionisation; density; magnetron
Popis Studium IPVD reaktoru s Ti katodou. Teplota jako klicovy parametr pro interpretaci vysledku.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.