Preionised pulsed magnetron discharges for ionised physical vapour deposition

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Preionizovany pulzni magnetronovy vyboj pro IPVD
Autoři

GANCIU Mihai KONSTANTINIDIS Stephanos PAINT Yoann DAUCHOT Jean-Pierre HECQ Michel DE POUCQUES Ludovic VAŠINA Petr MEŠKO Marcel IMBERT Jean-Christophe BRETAGNE Jean TOUZEAU Michel

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of Optoelectronics and Advanced Materials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova pulsed magnetron; preionization; transport processes
Popis Diagnostika preionizovaneho pulzniho magnetronoveho vyboje
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.