Spectroscopic analysis of a pulsed magnetron discharge
Název česky | Spektroskopicka studie pulzniho magnetronoveho vyboje |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of Optoelectronics and Advanced Materials |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | pulsed magnetron; spatially resolved diagnostics; time resolved diagnostics; transport processes; preionisation |
Popis | Spektroskopicka studie pulzniho magnetronoveho vyboje |
Související projekty: |