Influence of technological conditions on mechanical stresses inside diamond-like carbon films

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Vliv technologických podmínek na mechanické pnutí v diamantu podobných vrstvách
Autoři

OHLÍDAL Ivan OHLÍDAL Miloslav FRANTA Daniel ČUDEK Vlastimil BURŠÍKOVÁ Vilma KLAPETEK Petr PÁLENÍKOVÁ Kateřina

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Diamond and Related Materials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/DRM14_1835.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova intrisic stress; DLC; PECVD
Popis V tomto článku jsou studovány vlivy technologických podmínek, tj. vlivy průtoku vodíku a doby deposice, na hodnoty vnitřního mechanického napětí uvnitř diamantu podobných uhlíkových (DLC) tenkých vrstev připravených plasmaticky podporovanou chemickou deposicí v parách na podložky tvořené monokrystalickým křemíkem. Toto napětí je měřeno pomocí dvoupaprskové interferometrie a optické profilometrie založené na chromatické aberaci prostřednictvím měření deformace podložek křemíku vznikající v důsledku napětí ve vrstvách. Je ukázáno, že vliv času deposice (tj. tloušťky) na napětí ve vrstvách je je relativně slabý na rozdíl od od vlivu průtoku vodíku. Je totiž ukázáno, že napětí ve vrstvách je ovlivněno průtokem vodíku výrazným způsobem v rámci intervalu, který nás zajímá, tj. v rámci intervalu 1-7 sccm. Navíc je ukázáno, že použitá metoda optické profilometrie může být konkurenční metodou pro metodu dvoupaprskové interferometrie z praktického hlediska.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.