Study of the mechanical properties of thin films using combined nanoindentation and AFM measurements

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium mechanických vlastností tenkých vrstev kombinací nanotvrdosti a AFM
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma KLAPETEK Petr BOUSQUET Angelique ELIÁŠ Marek
Rok publikování	2005
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Jemná mechanika a optika
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	nanoindentation; AFM; thin films; mechanical properties
Popis	Studium mechanických vlastností tenkých vrstev připravených v plazmatu kombinací AFM a nanoindentace.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů