The Role of Secondary Electrons in Low Pressure rf Glow Discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Role sekundarních elektronů v nízkotlakém rf doutnavém výboji
Autoři	BRZOBOHATÝ Oto TRUNEC David
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	WDS 2005 - Proceedings of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	computer simulation; rf glow discharg; secondary electrons
Popis	V práci byla studována role sekundárních elektronů ve vf nízkotlakém doutnavém výboji. Ke studiu byla použita počítačová simulace (metoda PIC/MC). Byl studován vliv koeficientu sekundární emise (SEY) na koncentraci plazmatu. Dále byla určena relativní koncentrace a energiová rozdělovací funkce. Relativní koncentrace elektronů (vzhledem k celkové koncntraci plazmatu), vzniklých na elektrodě je 2-10% pro SEY = 0,1, resp. 5-15% pro SEY = 0,2. Díky vysoké intenzitě el. pole v elektrodové vrstvě získají tyto elektrony vysokou energii ionizují neutrální částice. Relativní koncentrace elektronů i iontů, vzniklých z ionizace sec. ele., je více než 20%.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek