Fourier components of plasma potential in hydrogen capacitively coupled rf discharge
Název česky | Fourierovy složky potenciálu plazmatu vodíkového kapacitně vázaného rf. výboje |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | plasma potential harmonic hydrogen |
Popis | Měřili jsme amplitudy základní a vyšších harmonických frekvencí potenciálu plazmatu v nízkotlakém, vysokofrekvenčním (13,56 MHz), kapaciteně vázaném vodíkovém výboji. Publikujeme jejich závislosti na poloze ve výboji a na tlaku. |
Související projekty: |