Study of carbon films on silicon substrate

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Studium uhlíkových vrstem na křemíkových vrstvách
Autoři

JAŠEK Ondřej MATĚJKOVÁ Jiřina ELIÁŠ Marek REK Antonín FRGALA Zdeněk KADLEČÍKOVÁ Magdaléna

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Material Science Forum
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www.scientific.net/default.cfm?pdf=1&issn=0255-5476&pg=1&ppg=21&paper=203&isbn=0-87849-964-4
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova high resolution scanning microscopy; carbon nanostructures; diamond; nanotubes
Popis Tenké uhlíkové vrstvy na křemíkových substrátech byly studovány pomocí FE SEM s EDS analyzátorem. Prvním typem jsou vrsty uhlíkových nanotrubek (CNT) připravené na Si/SiO2 substrátech s vrstvou Fe nebo Ni metodou RF-CVD. Byly zkoumány vlastnosti vrstev na tloušťce Fe a Ni vrstev a depozičních podmínkách. Dalším druhem vrstev jsou vrstvy tvořené mikro- a nanokrystalickými diamanty. Tyto vrstvy byly přepraveny na předem ošetřených křemíkových substrátech metodou MPCVD. Hlavním bodem studia vrstev je vliv ošetření vrstem a jeho parametrů na výslednou diamantovou vrstvu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.