Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě
Autoři

MIKULÍK Petr

Rok publikování 2004
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of International Conference Silicon-2004
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova clean room; silicon; chip
Popis Práce popisuje myšlenky, motivaci a plán pro projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.