Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University
| Název česky | Projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2004 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Proceedings of International Conference Silicon-2004 |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | clean room; silicon; chip |
| Popis | Práce popisuje myšlenky, motivaci a plán pro projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě. |
| Související projekty: |