Infrared Absorption Spectroscopy of Oxygen Precipitates in Nitrogen-doped Czochralski Silicon

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Infračervená absorpční spektroskopie kyslíkových precipitátů v dusíkem legovaném Czochralského křemíku
Autoři

ŠTOUDEK Richard LORENC Michal HUMLÍČEK Josef

Rok publikování 2004
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of The Ninth Scientific and Business Conference SILICON 2004
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Infrared; Silicon; Oxygen; Precipitates; Nitrogen doping
Popis Analyzovali jsme infračervená spektra propustnosti Czochralského křemíku. Díky měrení na teplotě kapalného dusíku jsme identifikovali příspěvek kyslíkových precipitátů různých tvarů. Pro určení tvaru, objemového podílu a stechiometrie precipitátů byl použit model efektivního prostředí. Byly měřeny standartní a dusíkem legované vzorky; pozorovali jsme příznivý vliv dusíku na precipitaci kyslíku.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.