Fast dynamics of ionized species in high power pulsed magnetron discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Rychlá dynamika ionizovaných částic v pulzním magnetronu velkého výkonu
Autoři	VAŠINA Petr MEŠKO Marcel TOUZEAU Michel BRETAGNE Jean GANCIU Mihai
Rok publikování	2004
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Bulletin of the American Physical Society, Series II, Vol. 49, No. 5
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	preionization; pulsed magnetron discharge; copper
Popis	Pulzni preionizovany magnetron velkeho vykonu 1kW/cm2 byl studovam pomoci casove rozlisene opticke emisni spektroskopie a pomoci casove rozliseneho mereni proudu a napeti na katode. Aplikovani 1kV stejnosmerneho napeti na kotodu je provazeno prutkym narustem magnetronoveho proudu, ktery dosahne na tlaku nezavisle hodnoty 40A pro 3cm medenou katodu. Spolelecne s vysledky OES bylo zjisteno, ze pro casy vetsi nez 5 mikrosekund je plasma dominantne slozeno z medenych iontu, ktere se ucasni samorozprasovani.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu