Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substart v mikrovlnnem plazmatu
Autoři	MEŠKO Marcel CICMAN Peter OHTSU Y. FUJITA H. KUDRLE Vít
Rok publikování	2004
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Journal of physics D: Applied physics
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	IEDF; large area microwave plasma; sheath
Přiložené soubory	d4_3_022.pdf
Popis	Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substrat v mikrovlnnem plazmatu
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek