Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substart v mikrovlnnem plazmatu
Autoři

MEŠKO Marcel CICMAN Peter OHTSU Y. FUJITA H. KUDRLE Vít

Rok publikování 2004
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of physics D: Applied physics
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova IEDF; large area microwave plasma; sheath
Přiložené soubory
Popis Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substrat v mikrovlnnem plazmatu
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.