Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Depozice tenkých organosilikonových polymerních vrstev v doutnavém výboji za atmosférického tlaku
Autoři	TRUNEC David NAVRÁTIL Zdeněk SŤAHEL Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma ČECH Jan
Rok publikování	2004
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Journal of physics D: Applied physics
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://www.iop.org/EJ/article/0022-3727/37/15/010/d4_15_010.pdf
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	atmospheric presure glow discharge; nitrogen; deposition; organosilicon
Popis	Doutnavý výboj za atmosférického tlaku (APGD) hořící v dusíku s malou příměsí organosilikonových sloučenin jako hexametyldisilazan nebo hexametydisiloxan byl použit pro depozici tenkých polymerních vrstev.
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku Využití povrchového výboje buzeného za atmosferického tlaku pro modifikaci povrchů a depozici ochranných polymerních vrstev Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek