Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Depozice tenkých organosilikonových polymerních vrstev v doutnavém výboji za atmosférického tlaku
Autoři

TRUNEC David NAVRÁTIL Zdeněk SŤAHEL Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma ČECH Jan

Rok publikování 2004
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of physics D: Applied physics
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www.iop.org/EJ/article/0022-3727/37/15/010/d4_15_010.pdf
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova atmospheric presure glow discharge; nitrogen; deposition; organosilicon
Popis Doutnavý výboj za atmosférického tlaku (APGD) hořící v dusíku s malou příměsí organosilikonových sloučenin jako hexametyldisilazan nebo hexametydisiloxan byl použit pro depozici tenkých polymerních vrstev.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.