Diagnostics of surfatron-generated plasma by probe measurements and emission spectroscopy

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

STRAŇÁK Vítězslav SLAVÍČEK Pavel NAVRÁTIL Zdeněk ADÁMEK Petr TICHÝ Milan ŠPATENKA Petr TRUNEC David

Rok publikování 2004
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Czech. J. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova microwave plasma; surfatron; probe diagnostics; optical emission spectroscopy
Popis Applications of plasma sources in technology, medicine and biomedicine are already known for a long time. Our work is focused on diagnostics and applications of a microwave plasma source in these areas. The diagnosed microwave-driven plasma source consists of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, working at 2.45 GHz in the output power range (0 - 300) W, which creates plasma from the working gas flowing through the quartz nozzle. We present results of diagnostics of generated plasma at nozzle exit at different experimental conditions: variable absorbed power, total chamber pressure etc. The diagnostics of plasma column was performed by means of double Langmuir probe measurement and optical emission spectroscopy.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.