Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	OHLÍDAL Ivan OHLÍDAL Miloslav KLAPETEK Petr ČUDEK Vladimír JÁKL Miloš
Rok publikování	2003
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Proceedings of SPIE
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Optika, masery a lasery
Klíčová slova	fims nonuniform in optical parameters; optical characterization
Popis	In this paper, a new optical method for characterizing nonuniform thin films is employed. For applying this method the special experimental arrangement containing CCD camera as a detector is used. Using this experimental arrangement the spectral dependences of the local reflectances are obtained. After treating these experimental data the distributions of the values of the local thicknesses and local refractive index along a large areas of the substrates of the nonuniform films are found. Moreover, it is shown that this method can be used to determine strong nonuniformities in both the optical parameters.
Související projekty:	Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou