X-ray grazing incidence study of inhomogeneous strain relaxation in Si/SiGe wires
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2003 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Nuclear Instruments & Methods in Physics Research A |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | X-ray grazing incidence study of inhomogeneous strain relaxation in Si/SiGe wires |
Popis | X-ray grazing incidence study of inhomogeneous strain relaxation in Si/SiGe wires |
Související projekty: |