Reduction of tungsten precursors in inductive rf discharge plasma reactors

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Jan ELIÁŠ Marek BROŽEK Vlastimil
Rok publikování	2003
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	High Temperature Material Processes
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	tungsten; tungsten carbide; plasma reduction; plasma carbidization;inductive coupled .h.f. plasma reactor
Popis	Ammonium paratungstate (APT) was reduced in inductively coupled h.f. plasma reactor(4 MHz,2 kW). As working gas was used hydrogen. If the mixture of hydrogen with hydrocarbon is used (methane, propan butane)it is possible to prepare also tungsten carbide in the ratio up to WC/W=80/20.
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek