Film deposition in Parallel Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

BIBINOV Nikita KUDRLE Vít ZAJÍČKOVÁ Lenka DONKO Zoltan WIESEMANN Klaus

Rok publikování 2003
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of ISPC 14
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova PECVD; negative ions; acethylene
Popis Film deposition in Paralle Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.