Mode Transition in Low-pressure RF Capacitive Discharge in Nitrogen

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka

Rok publikování 2002
Druh Článek ve sborníku
Konference Europhysics Conference Abstracts 26B
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova discharge modes plasma nitrogen
Popis Two different plasma modes of capacitive coupled rf discharge in pure nitrogen were studied. the modes differed significantly in a visual appearance, plasma potential and in the shape of the electron energy distribution function. For the plasma diagnostics we used Langmuir probe, Plasma Process Monitor, optical emission spectroscopy and we carried out electrical measurements on reactor with the discharge.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.