Study of Plasma Polymerization from Acetylene in Pulsed RF Discharges

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka RUDAKOWSKI Siegmar BECKER Hans-Werner MEYER Dirk VALTR Miroslav WIESEMANN Klaus

Rok publikování 2003
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Thin Solid Films
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Acetylene; Plasma Enhanced CVD (PECVD); Optical properties; Atomic force microscopy
Popis Plazmové polymerní vrstvy byly připraveny ze směsi argonu a acetylenu plazmochemickou depozicí z plynné fáze v pulzním vysokofrekvenčním výboji. Doba pulzu "zapnuto" se měnila od 50 do 150 ms doba "vypnuto" byla konstantně 1900 ms. Kinetika růstu vrstev byla studována in-situ měření odrazivosti. Vrstvy byly dále zkoumány ex-situ spektroskopickou elipsometrií, mikroskopií atomárních sil, rastrovacím a transmisním elektronovým mikroskopem. Poškození vrstev způsobené vnitřním pnutím ve vrstvách bylo zkoumáno optickým mikroskopem. Obsah vodíku a hustota vrstev byly stanoveny metodou nukleární rezonanční reakce. Některé vlastnosti vrstev, především vnitřní pnutí, depoziční rychlost, optické vlastnosti a drsnost povrchu byly významně ovlivněny trváním pulzu. Index lomu vrstev ve viditelné oblasti byl v rozsahu 1,60-1,73. Poměr obsahu vodíku ku uhlíku byl 3:2 a hustota vrstev 0,6 g/cm3.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.