Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin films

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KLAPETEK Petr OHLÍDAL Ivan
Rok publikování	2003
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Ultramicroscopy
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	columnar films; atomic force microscopy
Popis	In this paper a theoretical analysis of atomic force microscopy measurements of columnar thin films is presented. Errors originating from tip convoution effects are evaluated.
Související projekty:	Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou