Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Pedagogickou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel
Rok publikování	2002
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Conference Proceedings of Inter-Academia 2002
Fakulta / Pracoviště MU	Pedagogická fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	plasma deposition;surface energy; atmospheric discharge
Popis	Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek