Influence of Discharge Parameters on Composition of Films Deposited by PECVD from Hexamethyldisiloxane/Oxygen Mixtures

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka PEŘINA Vratislav BURŠÍKOVÁ Vilma MACKOVÁ Anna JANČA Jan

Rok publikování 2000
Druh Článek ve sborníku
Konference Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers, XVth Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Thin Films; PECVD; Hexamethyldisiloxane; RF discharge; RBS; ERD; FTIR; Polycarbonate
Popis The composition of films, deposited from hexamethyldisiloxane/oxygen mixtures was studied by FTIR transmittance measurements, Rutherford backscattering method (RBS) and elastic recoil detection (ERD). Films were characterized by the ellipsometry, the morphology of the film surfaces was studied by SEM and the mechanical properties of films were characterized by Vickers indentation technique.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.