Plasmachemical Deposition of Thin Films

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

JANČA Jan ZAJÍČKOVÁ Lenka

Rok publikování 2000
Druh Článek ve sborníku
Konference 4th Czech-Russian Seminar on Electrophysical and Thermophysical Processes in Low-Temperature Plasma
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma chemical deposition; Thin Films. hard films; plasma polymers; diamond-like
Popis PECVD deposition of thin films in RF and MW plasma. Hard diamond-like carbon thin films. Transparent SiOx thin films. Polycrystalline diamond.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.