Structural characterization of lamellar multilayer gratings by X-ray reflectivity and scanning electron microscopy

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Strukturní charakterizace planárních W/Si vrstevnatých mřížek rtg reflektivitou a skenovací elektronovou mikroskopií
Autoři

JERGEL M. MIKULÍK Petr MAJKOVÁ E. LUBY Š. SENDERÁK R. PINČÍK E. BRUNEL M. KOSTIČ I. KONEČNÍKOVÁ A.

Rok publikování 1999
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj J. Phys. D: Appl. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#JergelMikulikXTOP98
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova gratings; multilayers; x-ray reflectivity
Popis Strukturní charakterizace leptaných amorfních W/Si vrstevnatých mřížek s laterální periodicitou 800 nm rtg reflektivitou. Drsnost rozhraní byla vzata do úvahy přístupem utlumení koherentní amplitudy u zobecněných Fresnelových koeficientů.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.