Analysis of thin films with slightly rough boundaries

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel HORA Jaroslav NAVRÁTIL Karel WEBER Jan JANDA Pavel

Rok publikování 1998
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Mikrochim. Acta
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/MA15_177.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Spectroscopic Ellipsometry; Spectroscopic Reflectometry; Atomic Force Microscopy
Popis In this paper presented method is based on a combination of variable angle spectroscopic ellipsometry, spectroscopic reflectometry and atomic force microscopy enabling us to determine the optical parameters and most significant statistical parameters of the rough boundaries characterizing the slightly rough single layers.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.