Ellipsometry of thin films

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel

Rok publikování 1998
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Acta Physica Slovaca
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/APS48_459.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Popis In this paper a brief review of ellipsometric methods is presented for analyzing thin films. Examples of using these methods will be introduced as well. By means of results obtained using the ellipsometric methods introduced their practical meaning will be illustrated. It will be shown that the ellipsometric method can be tilized for analyzing single layers and multilayer systems in it successful way.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.