Ellipsometry of thin films

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel
Rok publikování	1998
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Acta Physica Slovaca
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/APS48_459.html
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Popis	In this paper a brief review of ellipsometric methods is presented for analyzing thin films. Examples of using these methods will be introduced as well. By means of results obtained using the ellipsometric methods introduced their practical meaning will be illustrated. It will be shown that the ellipsometric method can be tilized for analyzing single layers and multilayer systems in it successful way.
Související projekty:	Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod