Kinetika reakcí plynné fáze O_2+TEOS v řízeném rf reaktoru s elektronovou spinovou rezonancí

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Jan TÁLSKÝ Antonín ZVONÍČEK Vilém
Rok publikování	1996
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Chemistry and Plasma Processing
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek