Influence of Oxygen Concentration on Optical Properties of Semi-insulating Polycrystalline Silicon Films
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 1996 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Appl. Phys. A |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Teoretická fyzika |
Související projekty: |