Structural characterization of reactive ion-etched semicond uctor nanostructures using x-ray reciprocal space mapping
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 1996 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Mat. Res. Soc. Symp. Proc. |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Související projekty: |