Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

JANČA Jan NAVRÁTIL Karel BOCHNÍČEK Zdeněk

Rok publikování 1995
Druh Kapitola v knize
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.