Deposition and characterization of organosilicon thin films from TEOS+O2 gas mixture

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Jan KRYŠTOF P. NAVRÁTIL Karel BOCHNÍČEK Zdeněk NĚMEC Petr
Rok publikování	1995
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Acta Physica Univesitatis Comenianae
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek