Deposition and characterization of organosilicon thin films from TEOS+O2 gas mixture

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

JANČA Jan KRYŠTOF P. NAVRÁTIL Karel BOCHNÍČEK Zdeněk NĚMEC Petr

Rok publikování 1995
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Acta Physica Univesitatis Comenianae
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.