Investigation of ionized density fraction in reactive HiPIMS

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium ionizačního podílu titanu v reaktivním HiPIMS procesu
Autoři	BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2021
Druh	Další prezentace na konferencích
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Prezentace popsala a vysvětlila chování časového vývoje hustot rozprašovaných částic a jejich ionizační podíl v blízkosti terče a substrátu během HiPIMS procesu. Byly porovnány čtyři hlavní režimy hystereze v argon-dusíkové atmosféře včetně dvou v kovovém režimu, přechodovém režimu a otráveném režimu.
Související projekty:	Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications