Investigation of ionized density fraction in reactive HiPIMS

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Studium ionizačního podílu titanu v reaktivním HiPIMS procesu
Autoři

BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Rok publikování 2021
Druh Další prezentace na konferencích
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Prezentace popsala a vysvětlila chování časového vývoje hustot rozprašovaných částic a jejich ionizační podíl v blízkosti terče a substrátu během HiPIMS procesu. Byly porovnány čtyři hlavní režimy hystereze v argon-dusíkové atmosféře včetně dvou v kovovém režimu, přechodovém režimu a otráveném režimu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.