Temporal studies of titanium ionised density fraction in reactive HiPIMS with nitrogen admixture

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Časově rozlišená studie ionizačního podílu titanu v reaktivním HiPIMS procesu s příměsí dusiku
Autoři

BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Rok publikování 2021
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Plasma Source Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www Odkaz na publikáciu
Doi http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac333f
Klíčová slova plasma diagnostic; HiPIMS; ionisation fraction; titanium; nitrogen
Popis Tato publikace popisuje časový vývoj hustot základního stavu atomů a iontů titanu a podílu ionizovaných částic titanu během procesu vysokovýkonného impulsního magnetronového naprašování. Tento pulzní proces je studován v nereaktivní argonové atmosféře a v reaktivní argon-dusíkové atmosféře. V oblasti blízko rozprašovaného terču byla naměřena maximální podíl ionizovaných částic 95 % uprostřed pulzu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.