Temporal studies of titanium ionised density fraction in reactive HiPIMS with nitrogen admixture

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Časově rozlišená studie ionizačního podílu titanu v reaktivním HiPIMS procesu s příměsí dusiku
Autoři	BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2021
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Source Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	Odkaz na publikáciu
Doi	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac333f
Klíčová slova	plasma diagnostic; HiPIMS; ionisation fraction; titanium; nitrogen
Popis	Tato publikace popisuje časový vývoj hustot základního stavu atomů a iontů titanu a podílu ionizovaných částic titanu během procesu vysokovýkonného impulsního magnetronového naprašování. Tento pulzní proces je studován v nereaktivní argonové atmosféře a v reaktivní argon-dusíkové atmosféře. V oblasti blízko rozprašovaného terču byla naměřena maximální podíl ionizovaných částic 95 % uprostřed pulzu.
Související projekty:	Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev