Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Vplyv prietoku dusíka na hustotu rozprášených častíc v reaktívnom HiPIMS
Autoři	BERNÁTOVÁ Katarína FEKETE Matej KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2020
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Pridaním reaktívneho plynu do HiPIMS procesu vznikajú nové možnosti deponovať nové typy materiálov s rôznym zložením. V tomto príspevku bola skúmaná časová závislosť hustoty rozprášených titánových atómov, iónov a ionizačného stupňa titánu v oblasti blízko povrchu terča a taktiež toku iónov na substrát v reaktívnom HiPIMS výboji.
Související projekty:	Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications