Optimization and influence of pillar shape on micro-compression tests results

Název česky	Optimalizácia a vplyv tvaru pilárkov na výsledky mikro-kompresných testov
Autoři	BERNÁTOVÁ Katarína ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma DLUHOŠ Jiří VAŠINA Petr
Rok publikování	2018
Druh	Konferenční abstrakty
Citace
Popis	Séria pilárkov s rôznym sklonom medzi 4° a 14° bola pripravená pomocou FIB techniky na povrchu Mo-B-C vrstiev. Následne boli určené mez skzu a Youngov modul pružnosti z výsledkov mikro-kompresných skúšok.
Související projekty:	Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace