ENVIRONMENTAL STABILITY OF NITROGEN CONTAINING PLASMA-POLYMERIZED HEXAMETHYLDISILOXANE FILMS

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Environmentální stabilita tenkých vrstev hexamethyldisiloxanu s obsahem dusíku připravených pomocí plazmové polymerace
Autoři

KELAROVÁ Štěpánka PŘIBYL Roman HOMOLA Vojtěch VÁCLAVIK Richard STUPAVSKÁ Monika KELAR Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma

Rok publikování 2018
Druh Článek ve sborníku
Konference 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2017)
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Klíčová slova Plasma polymer films; plasma enhanced chemical vapor deposition; FTIR; nanoindentation
Popis Organosilikonové tenké vrstvy s obsahem dusíku byly připraveny pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze za použití RF kapacitně vázaného doutnavého výboje ze směsi hexamethyldisiloxanu a dusíku.Průtok dusíku se pohyboval v rozmezí 2-10 sccm, průtok hexamethyldisiloxanu byl udržován v rozmezí 0,3-0,4 sccm. Výkon dodávaný do výboje byl 50 W. Stabilita vyrobených tenkých vrstev v okolním prostředí byla studována pomocí konfokální mikroskopie, elipsometrie a FTIR. Strukturální změny studovaných vrstev způsobené okolní vlhkostí měly výrazný vliv na jejich mechanické vlastnosti. Mechanické vlastnosti byly studovány pomocí nanoindentačních metod.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.