Determination of local thickness values of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

VODÁK Jiří NEČAS David OHLÍDAL Miloslav OHLÍDAL Ivan

Rok publikování 2017
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Measurement Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6501/aa5534/meta
Doi http://dx.doi.org/10.1088/1361-6501/aa5534
Klíčová slova enhanced spatial resolution; high gradient thickness distribution; imaging spectroscopic reflectometer; non-uniform thin films
Přiložené soubory
Popis In this paper an imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution is presented. Main features of its design, experimental data acquisition, i.e. maps of thin film spectral dependencies of local reflectance and the local thickness map determination are described. The ability of this instrument to characterize thin film thickness non-uniformity with high gradients is demonstrated on measurements of thin film edges. A comparison with an older device is also presented.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.