Properties of WBC coatings prepared by magnetron sputtering from industrial segmented target

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KROKER Michael SOUČEK Pavel ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr
Rok publikování	2017
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	W-B-C coatings in this study were synthesized using magnetron sputtering from a single segmented cylindrical target in an industrial configuration. Advanced segmented target was used to precise controlling chemical composition of coating. The target was composed of W, C, B4C cylindrical segments with same radii but different heights. Highly-inhomogeneous coatings were deposited on various substrates to determine the influence of chemical composition on coatings properties afterwards.The depositions were carried out at 450 °C.
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Syntéza a charakterizace tenkých vrstev s nanolaminátní mikrostrukturou