Transition from spokes into a homogeneous plasma in HiPIMS discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	ŠLAPANSKÁ Marta HECIMOVIC Ante BREILMANN Wolfgang HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr VON KEUDELL Achim
Rok publikování	2017
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	The transition from self-organized plasma into spokes to a homogeneous plasma was studied. In the experiment, the 51-mm-diameter chromium target was used. The transition was investigated by simple biased flat probe, mass spectrometry (MS) and optical emission spectroscopy (OES).
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy