Time resolved study of Ti sputtered species number densities in multi-pulse HiPIMS discharge

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VITELARU Catalin MINEA Tiberiu VAŠINA Petr

Rok publikování 2016
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis A technique based on effective branching fractions was extended to determine the absolute ground state number densities of Ti atoms and Ti ions. The effective branching method was cross validated by TD-LAS technique while studying the dc magnetron sputtering discharge. Influence of preceding pulse on the subsequent pulse in the m-HiPIMS mode was examined as a function of delay (200µs, 400µs and 1500µs) between two successive pulses for the pulse duration of 200µs.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.