Behavior of spokes at different magnetic fields

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

HNILICA Jaroslav ŠLAPANSKÁ Marta KLEIN Peter VAŠINA Petr

Rok publikování 2016
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis The investigations of the non-reactive high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharge using current probes, high speed camera imaging and optical spectroscopy showed that plasma is not homogenously distributed over the target surface, but it is concentrated in regions of ionization zones called spokes which rotate above the erosion racetrack. The spokes were observed for certain combination of experimental parameters such as discharge current, pressure, target material and working gas.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.