Behavior of spokes at different magnetic fields

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	HNILICA Jaroslav ŠLAPANSKÁ Marta KLEIN Peter VAŠINA Petr
Rok publikování	2016
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	The investigations of the non-reactive high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharge using current probes, high speed camera imaging and optical spectroscopy showed that plasma is not homogenously distributed over the target surface, but it is concentrated in regions of ionization zones called spokes which rotate above the erosion racetrack. The spokes were observed for certain combination of experimental parameters such as discharge current, pressure, target material and working gas.
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy