CHARACTERISATION OF SURFACE AND BULK PROPERTIES OF POLYMER-LIKE THIN FILMS PREPARED USING PECVD ON VARIOUS SUBSTRATES

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

KELAR Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma

Rok publikování 2015
Druh Článek ve sborníku
Konference NanoCon 2015 7th International Conference Papers - Full Texts
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova PECVD polycarbonate glass mechanical properties TDS XPS HMDSZ
Popis The aim of the present work was to deposit thin polymer-like films fulfilling several criteria in order to enable their industrial application as protective coatings on various materials, for example plastic substrates. Therefore the films have to be stable, wear resistant with good adherence to the substrate materials and they have to be resistant against mechanical damage. The thin films presented in this work were prepared from mixture of hexamethyldisilazane and nitrogen using plasma enhanced chemical vapor deposition technique.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.